目前,我國已將光伏產(chǎn)業(yè)列為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一,在產(chǎn)業(yè)政策引導和市場需求驅動的雙重作用下,我國光伏產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了快速發(fā)展,已成為具備國際競爭優(yōu)勢的產(chǎn)業(yè),在制造規(guī)模、技術水平和市場份額等方面均位居全球前列。(新聞來源:賢集網(wǎng))
在光伏集成電路生產(chǎn)中,超純水主要用于清洗硅片,少量水用于藥水配制、硅片氧化的水蒸氣源、部分設備的冷卻水、電鍍液的配制。集成電路產(chǎn)品的質量與產(chǎn)量密切相關。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。可見,超純水在太陽能光伏電池行業(yè)中的必要性。
傳統(tǒng)的超純水處理工藝為單級/雙級反滲透設備+混床。其缺點是需要再生,不能連續(xù)產(chǎn)水,不僅效率低,而且浪費資源。萊特萊德經(jīng)過多年實踐,同時結合膜分離技術,采用反滲透加EDI相結合的工藝來制取超純水,該工藝與傳統(tǒng)工藝相比具有運行成本低的優(yōu)點(離子交換器的再生周期大大延長),運行可靠。萊特萊德超純水設備出水水質符合美國ASTM D5127電子及半導體工業(yè)用純水水質TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標準GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標準。
萊特萊德超純水系統(tǒng)中反滲透采用曲線微導力技術將水中的離子分離。實現(xiàn)凈化水質,減少水中的離子,降低水中離子的含量的目的。結合預處理系統(tǒng)、加藥系統(tǒng)等,可實現(xiàn)超純水的預脫鹽。
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